一种单片清洗的单晶硅片清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201621335852.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206296236U | 公开（公告）日 | 2017-07-04 |
| 申请公布号 | CN206296236U | 申请公布日 | 2017-07-04 |
| 分类号 | B08B3/02;B08B11/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 俞豪威;梁庭卫 | 申请（专利权）人 | 安徽爱森能源有限公司 |
| 代理机构 | 六安众信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 熊伟 |
| 地址 | 237200 安徽省六安市霍山经济开发区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单片清洗的单晶硅片清洗装置，包括水槽、清洗架、挡片、水喷头，所述水槽上方设有清洗架，所述清洗架为长条盒形，其底部开设有若干通孔，在清洗架两内侧壁对应均匀设有若干挡片，所述清洗架顶部滑动连接水喷头；所述水喷头为方形，其顶部连接水管。本实用新型作为一种单晶硅片的清洗装置，具有避免单晶硅片重叠，且清洗质量高的优点。 |
