一种单晶炉硅液的防泄漏装置
基本信息
| 申请号 | CN201621338574.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206298660U | 公开（公告）日 | 2017-07-04 |
| 申请公布号 | CN206298660U | 申请公布日 | 2017-07-04 |
| 分类号 | C30B29/06;C30B35/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 俞豪威;梁庭卫 | 申请（专利权）人 | 安徽爱森能源有限公司 |
| 代理机构 | 六安众信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 熊伟 |
| 地址 | 237200 安徽省六安市霍山经济开发区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型的目的是一种单晶炉硅液的防泄漏装置，包括单晶炉加热器、石墨托杆和石墨埚，所述的石墨托杆竖直穿过单晶炉加热器的底盘固定，单晶炉加热器的底盘上设有单晶炉发射盘，所述的石墨埚固定在石墨托杆的顶端，所述的石墨埚两端正下方的单晶炉反射盘上对称设有用于硅液泄露收集和报警的防泄漏装置，能够及时的发现硅液的泄露，并及时进行抢修，同时又能对漏出的硅液进行收集，以免硅液造成污染，减少安全事故发生，降低设备维修的成本。 |
