一种多晶硅片控温清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201621335833.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206296255U | 公开（公告）日 | 2017-07-04 |
| 申请公布号 | CN206296255U | 申请公布日 | 2017-07-04 |
| 分类号 | B08B3/08;B08B3/10 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 俞豪威;梁庭卫 | 申请（专利权）人 | 安徽爱森能源有限公司 |
| 代理机构 | 六安众信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 熊伟 |
| 地址 | 237200 安徽省六安市霍山经济开发区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多晶硅片控温清洗装置，包括碱洗槽，其特征在于：还包括加热水箱、水泵、抽水管、加水管，所述碱洗槽侧壁底部相通连接加水管，所述加水管相通连接加热水箱底部，在加热水箱顶部通过水管连接水泵出水端，所述水泵抽水端连接抽水管，所述抽水管另一端设在碱洗槽水面下方。本实用新型作为多晶硅片的清洗装置，具有温度稳定，持续工作的优点。 |
