一种蓝宝石单晶的生长方法

基本信息

申请号 CN202011393923.X 申请日 -
公开(公告)号 CN112501690A 公开(公告)日 2021-03-16
申请公布号 CN112501690A 申请公布日 2021-03-16
分类号 C30B29/20(2006.01)I;C30B27/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 郭飞;刘旭东 申请(专利权)人 通辽精工蓝宝石有限公司
代理机构 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 代理人 叶濛濛
地址 028000内蒙古自治区通辽市科尔沁区木里图镇工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种蓝宝石单晶的生长方法,涉及晶体生长技术领域,本发明包括以下步骤:(1)将氧化铝装入粘有籽晶的坩埚中,将坩埚放置在热交换器上,关闭炉体,对炉体进行抽真空或正压;(2)热交换器通入氦气,石墨加热器升温,直至氧化铝开始熔化;(3)原料开始熔化,从进气管道通入载体气体和混合气体,气体从出气管道排出;(4)将炉体内的温度升高至氧化铝完全融化,温度稳定后,增加热交换器的流量,晶体开始生长直至长晶完成;(5)降低炉体内的温度至晶体熔点温度,同时关闭进气管道和出气管道,待炉体冷却后,取出晶锭。本发明的优点为:可以提高晶体品质,晶体生长时炉体压力维持负压或正压都能生长出更高品质的蓝宝石单晶。