质量流量控制器的标定系统及其标定方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

质量流量控制器的标定系统及其标定方法

基本信息

申请号	CN202111484558.8	申请日	-
公开（公告）号	CN114166320A	公开（公告）日	2022-03-11
申请公布号	CN114166320A	申请公布日	2022-03-11
分类号	G01F25/17（2022.01）I	分类	测量；测试;
发明人	郭芳;邹义涛	申请（专利权）人	北京七星华创流量计有限公司
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	彭瑞欣;王婷
地址	100176北京市北京经济技术开发区文昌大道8号1幢506室
法律状态	-

摘要

本发明提供一种质量流量控制器的标定方法，包括：控制质量流量控制器上游的流体压力依次达到多个检测点，并获取质量流量控制器上游的流体压力达到各检测点时质量流量控制器的上游流体压力值及其对应的压力传感器的压力检测值；根据每相邻两个检测点对应的两个上游流体压力值和两个压力检测值，得到与各检测点区间对应的上游理论流体压力值与压力检测值之间对应关系的计算式；将各检测点区间对应的计算式写入质量流量控制器中。本发明提供的标定方法能够自动确定压力传感器的压力检测值与质量流量控制器的上游理论流体压力值之间的计算式，完成压力传感器的标定，提高传感器标定结果的一致性和可靠性。本发明还提供一种质量流量控制器的标定系统。