一种准单晶硅片的制绒方法

基本信息

申请号 CN201010520745.2 申请日 -
公开(公告)号 CN102034900A 公开(公告)日 2011-04-27
申请公布号 CN102034900A 申请公布日 2011-04-27
分类号 H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 黄新明;钟根香;王松;李志辉 申请(专利权)人 东海晶龙晶硅光伏材料研究院有限公司
代理机构 广州知友专利商标代理有限公司 代理人 李海波
地址 055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街267号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种准单晶硅片的制绒方法,对以(100)晶粒为主的准单晶硅片进行先酸制绒后碱制绒的制绒工艺,并根据准单晶硅片中(100)晶粒的所占面积的比例,调节酸、碱制绒的程度,以达到最好的综合制绒效果。该方法工艺简单,整体制绒效果好。