一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置及应用方法
基本信息
| 申请号 | CN201410737838.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104388908B | 公开（公告）日 | 2017-12-29 |
| 申请公布号 | CN104388908B | 申请公布日 | 2017-12-29 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 秦遵红;王恋贵;董安光;谭华 | 申请（专利权）人 | 洛阳康耀电子有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市孟津县华阳产业集聚区创业中心三楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置及应用方法，是由：墙体、长加热模块、长加热模块正极、长加热模块负极、短加热模块、短加热模块正极、短加热模块负极、矩形加热模块、正负极输入输出孔、定位器构成；加热的结构及其方法简单，设计科学合理，使用方便、操作容易快捷；确保在大型连续性生产氧化铟锡膜中，通过控制对磁控溅射磁悬浮车靶的各部位的加热温度，使ITO薄膜得到整版均匀性良好的电阻，明显提高ITO薄膜的产品质量，大大提高工作效率，节约生产成本，延长使用寿命2倍以上，节能环保。 |
