一种酸性蚀刻液循环再生利用氧化剂

基本信息

申请号 CN201911218469.1 申请日 -
公开(公告)号 CN112899687A 公开(公告)日 2021-06-04
申请公布号 CN112899687A 申请公布日 2021-06-04
分类号 C23F1/46;C23F1/18 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 罗欢 申请(专利权)人 上海八菱环保科技有限公司
代理机构 徐州拉沃智佳知识产权代理有限公司 代理人 陈永宁
地址 201800 上海市嘉定区外冈镇恒乐路85号1幢2层B区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种酸性蚀刻液循环再生利用氧化剂,有以下质量比例的原料制备而成:工业级98%的氯酸钠:工业级氯化钠:工业级氯化铵:工业级氯化钾:水=250:120:50:10:900,本发明通过添加少量氧化剂,使得再生液能够满足回用过程中的氧化还原反应,提高了再生液的回用率、提高了蚀刻的速率、降低了生产成本、实现了资源的保护和环保节能。