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一种单晶硅的加热装置

基本信息

申请号 CN201620458630.8 申请日 -
公开（公告）号 CN205653537U 公开（公告）日 2016-10-19
申请公布号 CN205653537U 申请公布日 2016-10-19
分类号 C30B15/14(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 李爱萍 申请（专利权）人 云南三奇光电科技有限公司
代理机构 北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 云南三奇光电科技有限公司
地址 675899 云南省临沧市云县爱华镇旧村祥临二级路下侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种单晶硅的加热装置，包括用于盛装单晶硅原料的石英坩埚以及炉体，所述炉体的顶部设有封盖，还包括用于将石英坩埚输送至炉体内部的输送机构，所述石英坩埚的外表面上设有多个挂钩，所述输送机构包括两个相对布置的输送单元，所述输送单元包括：动力轮，固定于炉体上方的固定滑轮，与固定滑轮以及动力轮相配合的吊绳，所述吊绳上设有与挂钩相配合的吊环，用于驱动动力轮转动的驱动机构。本实用新型操作方便，便于将石英坩埚放入炉体内进行加热升温，同时也便于从炉体中取出石英坩埚，大大提高了单晶硅的制备效率，省时省力。