一种应用于烧结炉温控系统的静电保护器件
基本信息
| 申请号 | CN202010171037.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111370402A | 公开（公告）日 | 2020-07-03 |
| 申请公布号 | CN111370402A | 申请公布日 | 2020-07-03 |
| 分类号 | H01L27/02 | 分类 | - |
| 发明人 | 汪龙;熊拥军;张忠义;肖迅达 | 申请（专利权）人 | 湖南博科瑞新材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 长沙朕扬知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 湖南博科瑞新材料有限责任公司 |
| 地址 | 410000 湖南省长沙市岳麓区雷锋大道346号博云工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种应用于烧结炉温控系统的静电保护器件，器件包括P‑SUB区、BN+区、HV‑NWell区、第一P‑Well区、N‑Well区、第二P‑Well区、第一P+注入区、第一N+注入区、第二P+注入区、第三P+注入区、第二N+注入区、第四P+注入区、第一场氧隔离区、第二场氧隔离区、第三场氧隔离区、第四场氧隔离区、第五场氧隔离区、第六场氧隔离区、第七场氧隔离区、第一多晶硅虚设栅和第二多晶硅虚设栅。本发明的器件能够承受足够高强度的静电应力，而不会发生表面热击穿现象，并且可以抑制器件的表面通路，避免电流集边现象的发生。 |
