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一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置

基本信息

申请号 CN202010774402.2 申请日 -
公开（公告）号 CN112071962B 公开（公告）日 2022-04-26
申请公布号 CN112071962B 申请公布日 2022-04-26
分类号 H01L33/00（2010.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 徐宏;龚桦;周德金;黄伟;吴超;于理科;夏泳 申请（专利权）人 清华大学无锡应用技术研究院
代理机构 北京和信华成知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 胡剑辉
地址 214062江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A3幢13楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，包括加工箱体，加工箱体内壁的底部固定连接有转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有加工台，所述加工台上设置有夹紧机构，所述加工箱体内壁之间的上方固定连接有固定板，所述加工箱体的内部设置有调节机构（6）；该加工装置利用加热管产生的高温使得加工箱体内部产生高温环境，满足蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工时所需的高温环境，结构简单，成本低，方便快速的调节蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的温度条件的问题。