一种利用氨热法生产氮化镓晶体的生长装置
基本信息
| 申请号 | CN202010773368.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112095140B | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN112095140B | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | C30B7/10（2006.01）I;C30B28/04（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 周德金;吴超;徐宏;黄伟;闫大为;于理科;钟磊 | 申请（专利权）人 | 清华大学无锡应用技术研究院 |
| 代理机构 | 北京和信华成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 214062江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A3幢13楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种利用氨热法生产氮化镓晶体的生长装置，驱动装置内腔的内壁固定设置有隔板，隔板的表面固定设置有加热层，反应罐内腔的内壁固定设置有驱动装置，通孔的内腔固定设置有夹持机构，坩埚的表面固定开设有连接口，进液阀的一端贯穿反应罐、隔板和滑轨的表面，并与连接口活动连接，本发明涉及氮化镓生长技术领域，该利用氨热法生产氮化镓晶体的生长装置，解决了无法进行多个氮化镓晶体来进行共同的生长，无法对氮化镓晶体在坩埚内腔的溶液中进行位置的调整，不能保证晶种模版一直处在最佳的生长环境，不利于提高氮化镓晶体生长效率和生长质量，无法对坩埚进行清理和对大小不同的晶体进行夹持的问题。 |
