一种利用飞秒激光制备纳米带的方法

基本信息

申请号 CN202010547908.X 申请日 -
公开(公告)号 CN111673271A 公开(公告)日 2020-09-18
申请公布号 CN111673271A 申请公布日 2020-09-18
分类号 B23K26/06(2014.01)I 分类 -
发明人 赵全忠 申请(专利权)人 南京萃智激光应用技术研究院有限公司
代理机构 南京华恒专利代理事务所(普通合伙) 代理人 南京萃智激光应用技术研究院有限公司
地址 210038江苏省南京市栖霞区恒园路1号龙港科技园A栋601
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种利用飞秒激光制备纳米带的方法,包括以下几个步骤:第一步,在基底上沉积一层待加工薄膜;第二步,将沉积有所述薄膜的基底放置在可移动的工作台上;第三步,将单束飞秒激光的能量调节到至所述薄膜材料的烧蚀阈值;第四步,将飞秒激光经物镜聚焦到所述薄膜表面,移动工作台,使飞秒激光根据预设参数扫描所述薄膜表面,使扫描的区域烧蚀掉,而未扫描的区域剥离而形成纳米带。本发明所提供的纳米带制备方法,克服了传统方法制备纳米带形状单一的不足,利用飞秒激光灵活的三维加工特性,通过飞秒激光的冷加工特征对薄膜进行烧蚀,可以制备出根据程序预先设定任意形状的纳米带。