一种利用飞秒激光制备纳米带的方法
基本信息
申请号 | CN202010547908.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111673271A | 公开(公告)日 | 2020-09-18 |
申请公布号 | CN111673271A | 申请公布日 | 2020-09-18 |
分类号 | B23K26/06(2014.01)I | 分类 | - |
发明人 | 赵全忠 | 申请(专利权)人 | 南京萃智激光应用技术研究院有限公司 |
代理机构 | 南京华恒专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 南京萃智激光应用技术研究院有限公司 |
地址 | 210038江苏省南京市栖霞区恒园路1号龙港科技园A栋601 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开一种利用飞秒激光制备纳米带的方法,包括以下几个步骤:第一步,在基底上沉积一层待加工薄膜;第二步,将沉积有所述薄膜的基底放置在可移动的工作台上;第三步,将单束飞秒激光的能量调节到至所述薄膜材料的烧蚀阈值;第四步,将飞秒激光经物镜聚焦到所述薄膜表面,移动工作台,使飞秒激光根据预设参数扫描所述薄膜表面,使扫描的区域烧蚀掉,而未扫描的区域剥离而形成纳米带。本发明所提供的纳米带制备方法,克服了传统方法制备纳米带形状单一的不足,利用飞秒激光灵活的三维加工特性,通过飞秒激光的冷加工特征对薄膜进行烧蚀,可以制备出根据程序预先设定任意形状的纳米带。 |
