一种溅射靶材及用该溅射靶材制作的CIGS基薄膜太阳能电池
基本信息
| 申请号 | CN201510711517.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105355681B | 公开（公告）日 | 2017-09-08 |
| 申请公布号 | CN105355681B | 申请公布日 | 2017-09-08 |
| 分类号 | H01L31/032(2006.01)I;H01L31/0749(2012.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李艺明;邓国云 | 申请（专利权）人 | 厦门神科太阳能有限公司 |
| 代理机构 | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 | 代理人 | 张松亭;游学明 |
| 地址 | 361000 福建省厦门市火炬高新区创业园伟业楼南楼S102A室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种溅射靶材及用该溅射靶材制作的CIGS基薄膜太阳能电池，通过在硒化锌材料中掺入一定量的B、Al、Ga、In元素来制作硒化锌溅射靶材，并用该硒化锌溅射靶来制作无镉的薄膜太阳能电池，本发明的硒化锌溅射靶材可使用DC溅射沉积或AC溅射沉积，可避免使用复杂的RF溅射设备沉积硒化锌膜层，可降低薄膜电池的制造成本。 |
