一种CIGS基薄膜太阳能电池及其制造方法

基本信息

申请号 CN201510362598.3 申请日 -
公开(公告)号 CN105140320B 公开(公告)日 2017-06-23
申请公布号 CN105140320B 申请公布日 2017-06-23
分类号 H01L31/0352;H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 李艺明;田宏波;邓国云 申请(专利权)人 厦门神科太阳能有限公司
代理机构 厦门市首创君合专利事务所有限公司 代理人 张松亭
地址 361000 福建省厦门市火炬高新区创业园伟业楼南楼S102A室
法律状态 -

摘要

摘要 一种用于形成CIGS基薄膜太阳能电池的方法,包括基板,在基板上沉积金属背电极层,接着对金属背电极层进行P1刻划,接着沉积一层MoSx(0<x≤2)或Mo(S1‑xSex)y(0<x<1,0<y≤2)薄膜层,接着在其上形成光吸收层,在光吸收层上沉积缓冲层,在缓冲层上沉积透明导电窗口层。通过在形成光吸收层之前先沉积一层MoSx(0<x≤2)或Mo(S1‑xSex)y(0<x<1,0<y≤2)薄膜层,可有效降低电池内部的分流作用,提高电池的并联电阻和填充因子。