含钛中高温太阳能吸收涂层的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201210530623.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103866233B | 公开（公告）日 | 2016-03-16 |
| 申请公布号 | CN103866233B | 申请公布日 | 2016-03-16 |
| 分类号 | C23C14/14(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;F24J2/48(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王轩;张敏;尹万里;孙守建;朱敦智 | 申请（专利权）人 | 北京市太阳能研究所有限公司 |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 韩国胜 |
| 地址 | 100012 北京市朝阳区北苑路大羊坊10号桑普大厦 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种含钛中高温太阳能吸收涂层的制备方法，其包括以下步骤：S1.选择基体，在基体上制备一层铝膜作为金属红外反射层；S2.以纯钛为靶材，以氩气和氮气的混合气体作为溅射气体，采用磁控溅射在金属红外反射层上制备第一吸收层；S3.保持步骤S2中的靶材和溅射气体种类不变，减小溅射电流，同时减少氮气流量，在第一吸收层上制备第二吸收层；S4.制备光学减反射层。采用本发明提供的方法，大大简化了中高温太阳能吸收涂层制备的生产工艺，且因钛原料便宜而降低了成本，并节省了生产时间；反应气体只需用到氮气，无需氧气，这进一步简化了工艺，不但节省了气体来回切换的时间，还降低了氧化反应造成靶中毒、阳极消失的风险。 |
