一种蒸镀装置
基本信息
| 申请号 | CN202111163706.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113802095A | 公开（公告）日 | 2021-12-17 |
| 申请公布号 | CN113802095A | 申请公布日 | 2021-12-17 |
| 分类号 | C23C14/26（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 何军舫;王军勇 | 申请（专利权）人 | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京中政联科专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郑久兴 |
| 地址 | 101101北京市通州区张家湾镇云杉路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳；加热电极用于为加热腔提供热源；电极连接结构用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。本发明实施例中，加热电极设置于加热腔的加热底壳上，设置于加热底壳上不与加热腔的外围设备存在位置干涉，实现从蒸镀设备的上部开口处安装及取出，有利于加热器的维护以及更换。 |
