一种表面缺陷检测装置
基本信息
| 申请号 | CN201921862649.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211292539U | 公开（公告）日 | 2020-08-18 |
| 申请公布号 | CN211292539U | 申请公布日 | 2020-08-18 |
| 分类号 | G01N21/01(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 何军舫 | 申请（专利权）人 | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京中政联科专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司 |
| 地址 | 101101北京市通州区工业开发区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种表面缺陷检测装置，包括：遮光罩，侧面设置有观察口；照明装置，设置于遮光罩内部，照明装置靠近遮光罩的顶部，以使照明装置由上至下照射。采用这种表面缺陷检测装置遮光罩，照明设备发射的光线能够沿检测物表面平行方向射入，更容易发现检测物表面的缺陷。 |
