一种加热器导电纹路制备模具

基本信息

申请号 CN201921507222.7 申请日 -
公开(公告)号 CN210928016U 公开(公告)日 2020-07-03
申请公布号 CN210928016U 申请公布日 2020-07-03
分类号 H05B3/20 分类 -
发明人 何军舫 申请(专利权)人 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
代理机构 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 代理人 博宇(天津)半导体材料有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
地址 101101 北京市通州区工业开发区
法律状态 -

摘要

摘要 一种加热器导电纹路制备模具,该模具包括第一模具单体(1)和第二模具单体(2);所述第一模具单体(1)与所述第二模具单体(2)可拆卸连接;所述第一模具单体(1)和第二模具单体(2)围成有闭合的容纳空间,所述容纳空间用于容纳加热器;所述第一模具单体(1)和所述第二模具单体(2)的表面均设置有通孔(3);所述通孔(3)与加热器的导电隔离区对应设置,用于对通孔裸露出的导电涂层进行喷砂雕刻。通过设计该加热器导电纹路制备模具,能够实现在涂层上进行喷砂雕刻,能够得到较为精确的导电隔离区,能够有效避免由于机械加工加热器导致的分层现象。