一种加热器导电纹路制备模具
基本信息
申请号 | CN201921507222.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210928016U | 公开(公告)日 | 2020-07-03 |
申请公布号 | CN210928016U | 申请公布日 | 2020-07-03 |
分类号 | H05B3/20 | 分类 | - |
发明人 | 何军舫 | 申请(专利权)人 | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司 |
代理机构 | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 博宇(天津)半导体材料有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司 |
地址 | 101101 北京市通州区工业开发区 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种加热器导电纹路制备模具,该模具包括第一模具单体(1)和第二模具单体(2);所述第一模具单体(1)与所述第二模具单体(2)可拆卸连接;所述第一模具单体(1)和第二模具单体(2)围成有闭合的容纳空间,所述容纳空间用于容纳加热器;所述第一模具单体(1)和所述第二模具单体(2)的表面均设置有通孔(3);所述通孔(3)与加热器的导电隔离区对应设置,用于对通孔裸露出的导电涂层进行喷砂雕刻。通过设计该加热器导电纹路制备模具,能够实现在涂层上进行喷砂雕刻,能够得到较为精确的导电隔离区,能够有效避免由于机械加工加热器导致的分层现象。 |
