一种数字式差动型微加速度计
基本信息
| 申请号 | CN201610944688.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106352862B | 公开（公告）日 | 2019-04-09 |
| 申请公布号 | CN106352862B | 申请公布日 | 2019-04-09 |
| 分类号 | G01C19/5621（2012.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 赵玉龙; 李波; 李村; 孙登强; 赵建华 | 申请（专利权）人 | 陕西麟德惯性电气有限公司 |
| 代理机构 | 西安智大知识产权代理事务所 | 代理人 | 贺建斌 |
| 地址 | 710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种数字式差动型微加速度计芯片，包括具有质量块‑弹簧功能的硅基底和两根石英双端固定音叉，硅基底由质量块和支撑质量块的两根悬臂梁组成，质量块、悬臂梁组成质量块‑弹簧系统指的是沿着微加速度计芯片敏感方向，悬臂梁具有弹性特性，悬臂梁沿着质量块的对角线方向；石英双端固定音叉沿着质量块的另外一条对角线方向，两个结构相同的石英双端固定音叉处于差动方式布置，本发明能够消除温度对传感器的影响，提高传感器的非线性度，具有响应速度快、精度高等优点。 |
