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一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片

基本信息

申请号 CN201710613620.6 申请日 -
公开（公告）号 CN107328954B 公开（公告）日 2019-12-31
申请公布号 CN107328954B 申请公布日 2019-12-31
分类号 G01P15/097 分类 测量；测试;
发明人 赵玉龙;韩超;李村;李波;张琪;赵友 申请（专利权）人 陕西麟德惯性电气有限公司
代理机构 西安智大知识产权代理事务所 代理人 西安交通大学
地址 710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
法律状态 -

摘要

摘要 一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片，由硅基底和石英音叉梁组成，硅基底由外围的支撑框架和内部的敏感质量块组成，支撑框架和敏感质量块上分别带有过载止挡结构，并通过柔性支撑梁连接为一个整体，硅基底上的敏感质量块上开有供石英音叉梁安装和运动的安装对准标记和空槽，且均对称分布于非敏感方向轴线两侧，与被测加速度方向垂直；通过两石英音叉梁频率变化的差值确定加速度大小；当芯片受到过载冲击加速度时，敏感质量块上的过载止挡结构与支撑框架上的过载止挡结构发生硬接触，阻止石英音叉梁和柔性支撑梁进一步变形造成的破坏；本发明能减少恶劣环境对传感器的影响和破坏，扩大应用范围，并且具有准数字输出，精度高，体积小等优点。