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安装方便加热均匀的坩埚

基本信息

申请号	CN202121512357.X	申请日	-
公开（公告）号	CN215963628U	公开（公告）日	2022-03-08
申请公布号	CN215963628U	申请公布日	2022-03-08
分类号	B01L3/04（2006.01）I;B01L7/00（2006.01）I	分类	一般的物理或化学的方法或装置;
发明人	陈景升;张正才;岳彩玉;孟祥好;王峰	申请（专利权）人	江苏微迈思半导体科技有限公司
代理机构	苏州国卓知识产权代理有限公司	代理人	马德龙
地址	221000江苏省徐州市经济技术开发区徐庄镇府中路66号徐庄之星众创空间303房间
法律状态	-

摘要

本实用新型属于坩埚技术领域，尤其为安装方便加热均匀的坩埚，包括架体和支撑块，所述架体的外侧设置有连接件，且连接件的中间位置安装有下坩埚，所述下坩埚的底部设置有转动轴，且转动轴的上方安装有转动杆，并且转动杆的外侧设置有加热装置，所述下坩埚的上方设置有上坩埚，且上坩埚的外侧设置有固定杆，并且上坩埚的内壁预留有滑槽，所述滑槽的上方安装有滑块，且滑块的外侧设置有支撑杆，所述支撑杆的顶部安装有埚盖，且埚盖的外侧设置有加热板。该安装方便加热均匀的坩埚，与现有的坩埚相比，适用范围广泛，安装便捷，坩埚内部加热更加均匀，多组的加热装置可以使得内部的加热效果更佳，使得上坩埚与下坩埚之间安装与拆卸十分便捷，安装的结构简单。