一种分级式蒸发源及蒸镀装置
基本信息
| 申请号 | CN202111293907.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114000110A | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN114000110A | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | C23C14/26（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈景升 | 申请（专利权）人 | 江苏微迈思半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京普睿益思知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 杜朝霞 |
| 地址 | 221000江苏省徐州市经济开发区杨山路21-6科技创业大厦 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种分级式蒸发源及蒸镀装置，包括蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚外部包裹有防护壳，所述蒸镀坩埚放置于防护壳内，所述防护壳上面设有开口，所述蒸镀坩埚上端伸出开口设置，所述蒸镀坩埚外侧面上且从上至下依次缠绕有若干层电磁线圈，每层所述电磁线圈另一端均电连有控制组件，每层所述电磁线圈缠绕的紧密度不同。本发明的优点：其可使坩埚的加热具有梯度化且可使热量的散失较少，能够保证原材料的融化速度和融化效果。 |
