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一种LED蒸镀机的蒸发源组件

基本信息

申请号	CN202121005142.9	申请日	-
公开（公告）号	CN214830624U	公开（公告）日	2021-11-23
申请公布号	CN214830624U	申请公布日	2021-11-23
分类号	C23C14/24（2006.01）I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	陈景升;张正才;王峰	申请（专利权）人	江苏微迈思半导体科技有限公司
代理机构	苏州国卓知识产权代理有限公司	代理人	周鑫
地址	221000江苏省常州市经济技术开发区徐庄镇府中路66号徐庄之星众创空间303房间
法律状态	-

摘要

本实用新型属于LED蒸镀机技术领域，尤其为一种LED蒸镀机的蒸发源组件，包括主板和支撑板，所述主板的内壁安装有固定板，且固定板的内部设置有滑杆，并且滑杆的下方安装有滑块，所述滑块的外壁设置有夹板，且夹板的外部设置有蒸发管，所述支撑板固定于主板的上方，且支撑板的外壁设置有顶板，并且顶板的下方安装有连接板，所述连接板的内壁预留有滑槽，且滑槽的内部设置有滑轮。该LED蒸镀机的蒸发源组件，与现有的LED蒸镀机相比，有利于固定物体，使设备保持稳定，增加设备的稳定性，有利于设备进行拆卸方便，使设备便于更换和维护，有利于清理设备的内部，有利于通过液压杆驱动卡板上下伸缩，使连接杆对出气孔内的堵塞材料进行疏通。