一种蒸镀机的背板结构

基本信息

申请号 CN202121267153.4 申请日 -
公开(公告)号 CN214830627U 公开(公告)日 2021-11-23
申请公布号 CN214830627U 申请公布日 2021-11-23
分类号 C23C14/24(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 陈景升;张正才;孟祥好 申请(专利权)人 江苏微迈思半导体科技有限公司
代理机构 苏州国卓知识产权代理有限公司 代理人 周鑫
地址 221000江苏省常州市经济技术开发区徐庄镇府中路66号徐庄之星众创空间303房间
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于蒸镀机背板技术领域,尤其为一种蒸镀机的背板结构,包括第一板体、连接杆和第二板体,所述第一板体的上方安装有固定块,且固定块的顶部固定有升降杆,所述升降杆的两侧均预留有第一滑槽,且第一滑槽的内壁连接有第一滑块,并且升降杆的上方安装有支撑杆,所述第一板体的外壁连接有第一连接块,且第一连接块的上方安装有螺纹杆,并且螺纹杆的内侧连接有第一转轴,所述第一板体的内侧安装有弹簧杆,且弹簧杆的两侧均预留有第二滑槽,并且第二滑槽的内壁连接有第二滑块。该蒸镀机的背板结构,与现有的蒸镀机背板相比,连接更加紧密,自动化程度较高,能避免人为对准不够准确的问题,保护性能佳,使用寿命较长,适用性更强。