一种OLED加工用均匀蒸镀沉积设备专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种OLED加工用均匀蒸镀沉积设备

基本信息

申请号	CN202121005067.6	申请日	-
公开（公告）号	CN214830623U	公开（公告）日	2021-11-23
申请公布号	CN214830623U	申请公布日	2021-11-23
分类号	C23C14/24（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I;H01L51/56（2006.01）I;B08B9/087（2006.01）I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	陈景升;张正才;王峰	申请（专利权）人	江苏微迈思半导体科技有限公司
代理机构	苏州国卓知识产权代理有限公司	代理人	周鑫
地址	221000江苏省常州市经济技术开发区徐庄镇府中路66号徐庄之星众创空间303房间
法律状态	-

摘要

本实用新型属于OLED加工沉积设备技术领域，尤其为一种OLED加工用均匀蒸镀沉积设备，包括主板和固定杆，所述主板的内壁安装有支撑板，且支撑板的内部设置有滑杆，并且滑杆的下方安装有滑块，所述滑块的外壁设置有清理板，且清理板外部设置有固定板，并且固定板的上方安装有轴承，所述轴承的外壁安装有转杆，且转杆的外部设置有蒸发管。该OLED加工用均匀蒸镀沉积设备，与现有的OLED加工沉积设备相比，有利于设备的内部保持干净，方便对设备内部进行清洗，使灰尘不易进入到设备中来，从而不会影响到设备的正常使用，使转杆通过固定板内的轴承进行转动，带动蒸发管进行进行转动，使设备进行均匀蒸镀沉积，有利于对蒸发的沉积物进行收集。