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芯片表面清洁检测机构

基本信息

申请号 CN201920946376.X 申请日 -
公开（公告）号 CN210198989U 公开（公告）日 2020-03-27
申请公布号 CN210198989U 申请公布日 2020-03-27
分类号 G01N21/94;B08B1/00 分类 测量；测试;
发明人 冯文灿;张华 申请（专利权）人 东莞广达智能科技有限公司
代理机构 深圳华奇信诺专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 东莞广达智能科技有限公司
地址 523000 广东省东莞市松山湖园区科技二路10号1栋1单元305室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及自动化清洁检测设备技术领域，尤其是指一种芯片表面清洁检测机构，所述清洁模组包括清洁机械手、驱动清洁机械手上下运动的第一驱动装置、安装底座、装设于安装底座的洁具安装台和驱动安装底座靠近或远离清洁机械手的第二驱动装置，所述机架固定连接有承载板、第一视觉检测装置和第二视觉检测装置，其中承载板位于清洁机械手的上方，第一视觉检测装置穿接承载板向下延伸，第二视觉检测装置连接第一视觉检测装置的末端，所述承载板上侧面装设有第三视觉检测装置以及环形布设于承载板的若干个光照组件，本机构自动化程度高，实时检测产品清洁情况，且具有智能控制清洁机械手向下移动的距离，达到灵活、高精度高质量的清洁效果。