首页/ 保定开拓精密仪器制造有限责任公司/ 专利详情

一种温度加速度复合型石英摆片的制备方法

基本信息

申请号 CN202010753389.2 申请日 -
公开（公告）号 CN111751574A 公开（公告）日 2020-10-09
申请公布号 CN111751574A 申请公布日 2020-10-09
分类号 G01P15/08(2006.01)I;G01K7/22(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 王立会;陈天平;谢成林;郭星;杜慧霞 申请（专利权）人 保定开拓精密仪器制造有限责任公司
代理机构 北京圣州专利代理事务所（普通合伙） 代理人 王振佳
地址 074004河北省保定市白沟新城友谊东路CT机工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种温度加速器复合型石英摆片的制备方法，包括：S1、晶圆基材清洗，S2、晶圆正面金属层沉积，S3、晶圆背面金属层沉积，S4、匀胶、曝光，S5、显影，S6、金属层腐蚀，S7、基材腐蚀，S8、老化，S9、存储。温度传感器直接设置在摆片上，石英的摆片能够同时感受到加速度和温度信号，并且两个信号是实时同步的。控制单元以从摆片上采集到的温度信号作为依据，对加速度计进行温度补偿，从而消除当环境温度突变时造成的温度补偿滞后的问题，提高加速度计测量的精度本发明采用上述温度加速度复合型石英摆片的制备方法，能够解决现有的温度传感器采集到的温度滞后造成补偿滞后的问题。