一种石英摆片的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010751436.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111847847A | 公开（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申请公布号 | CN111847847A | 申请公布日 | 2020-10-30 |
| 分类号 | C03B20/00(2006.01)I | 分类 | 玻璃；矿棉或渣棉; |
| 发明人 | 王立会;陈天平;李克光;韩红宾;郭星 | 申请（专利权）人 | 保定开拓精密仪器制造有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京圣州专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 074004河北省保定市白沟新城友谊东路CT机工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种石英摆片的制备方法，包括：S1、晶圆基材清洗，S2、晶圆正面金属层沉积，S3、晶圆背面金属层沉积，S4、匀胶、曝光，S5、显影，S6、金属层腐蚀，S7、基材腐蚀，S8、取片、存储。晶圆上均匀的设置有若干个摆片，同时可以对多个摆片进行加工，不仅提高了摆片的加工效率，而且提高了摆片质量的一致性。使用光刻工艺对晶圆上沉积金属层进行加工，使得金属层具有掩膜的作用，能够提高产品的加工精度。本发明采用上述石英摆片的制备方法，能够解决现有的摆片生产效率低、精度低和质量稳定性差的问题。 |
