垂直型溅射系统
基本信息
| 申请号 | CN201820112880.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208038541U | 公开（公告）日 | 2018-11-02 |
| 申请公布号 | CN208038541U | 申请公布日 | 2018-11-02 |
| 分类号 | C23C14/34 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 白雨成;全义九;李相文;张昌泳;丁钟国;边娜恩 | 申请（专利权）人 | 胜显（上海）商贸有限公司 |
| 代理机构 | 上海汉声知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胜显（上海）商贸有限公司;株式会社SELCOS |
| 地址 | 韩国京畿道华城市东滩面东滩工业园10路42 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种垂直型溅射系统，包括与地面垂直设置在第一溅射枪的第一垂直靶材组件；及设置在面对第一溅射枪的第二溅射枪，并设置为与第一垂直靶材组件相隔彼此面对的第二垂直靶材组件，第一及第二垂直靶材组件分别包括释放薄膜形成物质的靶材；将靶材固定在溅射枪的靶材夹具；覆盖靶材夹具，并与靶材连接相同电极的屏蔽部件。本实用新型优点如下：靶材夹具与屏蔽部件之间不会发生短路，可以对被溅镀物有效地进行溅射。本实用新型使被溅镀物可通过相互面对垂直设置的一对垂直靶材组件，具有可以减小安装面积的优点。而且，相互面对的2个垂直靶材组件分别向相互面对的2个被溅镀物进行溅镀，具有提高溅射生产率的优点。 |
