一种溅镀装置
基本信息
| 申请号 | CN201820112876.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208038540U | 公开（公告）日 | 2018-11-02 |
| 申请公布号 | CN208038540U | 申请公布日 | 2018-11-02 |
| 分类号 | C23C14/34;C23C14/56 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 白雨成;全义九;李相文;张昌泳;丁钟国;边娜恩 | 申请（专利权）人 | 胜显（上海）商贸有限公司 |
| 代理机构 | 上海汉声知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胜显（上海）商贸有限公司;株式会社SELCOS |
| 地址 | 韩国京畿道华城市东滩面东滩工业园10路42 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种溅镀装置，包括：引入了载体的第一负载锁定室组件；可与所述第一负载锁定室组件选择性连通的工艺室组件；以及可与所述工艺室组件选择性连通的，所述载体被引出的第二负载锁定室组件，所述第一负载锁定室组件或所述第二负载锁定室组件与所述工艺室组件相邻并连接，由真空度逐渐变高的至少3个以上的真空室组成。本实用新型使用压力逐渐降低的多个真空室将载体引入高真空室，缩短建立真空的时间，从而缩短生产一个产品所需的节拍时间。通过连接管连接多个真空室，进入事先设定的压力状态，增加气泵排放空气的有效时间。气泵使相互连通的真空室保持事先设定的真空度状态，减少气泵的电力消耗，还防止气泵损坏。 |
