一种利用RTS的CIGS薄膜型太阳能电池的制备装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种利用RTS的CIGS薄膜型太阳能电池的制备装置

基本信息

申请号	CN201820128774.6	申请日	-
公开（公告）号	CN208038536U	公开（公告）日	2018-11-02
申请公布号	CN208038536U	申请公布日	2018-11-02
分类号	C23C14/24;C23C14/06;H01L31/18	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	白雨成;全义九;李相文;张昌泳;丁钟国;边娜恩	申请（专利权）人	胜显（上海）商贸有限公司
代理机构	上海汉声知识产权代理有限公司	代理人	胜显（上海）商贸有限公司;株式会社SELCOS
地址	韩国京畿道华城市东滩面东滩工业园10路42
法律状态	-

摘要

本实用新型提供了一种利用RTS(快速热升华)的CIGS薄膜型太阳能电池的制备装置，包括真空腔；被固定在所述真空腔盖内侧面的基板加热器驱动部；被安装在设置于真空腔底面上并与所述基板加热用加热器相隔预定距离的放置部上的基板；设置在所述基板下方的近距离蒸发源；根据操作人员的操作进行发热的元素加热用加热器；设置在所述近距离蒸发源和所述元素加热用加热器之间，将所述元素加热用加热器产生的热量施加到所述近距离蒸发源的石英窗口。本实用新型利用RTS沉积硒，通过基板用高温加热形成结晶，制备铜‑铟‑镓‑硒太阳能电池单元，有效避免了H2Se或H2S等有毒气体；简化了薄膜太阳能电池制造工艺，节约了成本，提高了生产率。