一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置
基本信息
| 申请号 | CN201820128772.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208293074U | 公开（公告）日 | 2018-12-28 |
| 申请公布号 | CN208293074U | 申请公布日 | 2018-12-28 |
| 分类号 | C23C14/50;C23C14/34 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 白雨成;全义九;李相文;张昌泳;丁钟国;边娜恩 | 申请（专利权）人 | 胜显（上海）商贸有限公司 |
| 代理机构 | 上海汉声知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胜显（上海）商贸有限公司;株式会社SELCOS |
| 地址 | 韩国京畿道华城市东滩面东滩工业园10路42 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置，包括角度夹具、盖子以及固定部件，其中：所述角度夹具具有特定的倾向性，折弯成任意角度并形成相对的2个面，所述的2个面上分别具有用于放置被溅镀物的夹具槽；所述盖子盖住所述夹具槽，用于开关所述夹具槽，不让所述被溅镀物的上端暴露在溅镀环境中；所述固定部件设置于所述角度夹具上端，使所述盖子吸附并固定在角度夹具上。本实用新型不仅能在被溅镀物的表面上一次形成均匀薄膜，还能利用为具有特定倾向性而折弯成任意角度的2个相对的面的夹具，形成具有特定倾向的薄膜。本实用新型能够使被溅镀物的电极部分免被溅镀物涂布，无需在被溅镀物上另设罩子。 |
