一种沉积石墨烯薄膜的设备及其沉积方法
基本信息
| 申请号 | CN201610941638.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106480423A | 公开（公告）日 | 2017-03-08 |
| 申请公布号 | CN106480423A | 申请公布日 | 2017-03-08 |
| 分类号 | C23C16/26(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李恕广 | 申请（专利权）人 | 山东赛帝格新材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 烟台上禾知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘志毅 |
| 地址 | 264000 山东省烟台市莱山经济开发区澳柯玛大街101号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种沉积石墨烯薄膜的设备，包括腔体，腔体的顶部设置有电极板，腔体的底部设置有加热板，加热板上设置有若干个支架，支架上放置有沉积基板，腔体的侧壁设置有若干个第一气孔；加热板内设置有若干个相互平行的加热棒，加热棒与加热板顶部之间设置有导热板，导热板与加热棒之间设置有第一真空腔室，相邻两个加热棒之间设置有第二气孔；气源供气管通过分流阀连接有第一供气支路和第二供气支路，气源供气管上设置有预加热器，第一供气支路连接至第一气孔，第二供气支路连接至第二气孔。本发明还公开了一种使用上述沉积石墨烯薄膜的设备的沉积方法。本发明能够改进现有技术的不足，可以提高石墨烯沉积的产品良率。 |
