一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台
基本信息
| 申请号 | CN201510629763.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105223213B | 公开（公告）日 | 2017-12-15 |
| 申请公布号 | CN105223213B | 申请公布日 | 2017-12-15 |
| 分类号 | G01N23/04(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 韩晓东;李志鹏;毛圣成;王晓冬;庄春强;张剑飞;邓青松;翟亚迪;张韬楠;张泽 | 申请（专利权）人 | 百实创（北京）科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京工业大学;百实创（北京）科技有限公司 |
| 地址 | 100124 北京市朝阳区平乐园100号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台属于纳米材料力学性能‑显微结构原位表征领域。该平台主要由粘接区、支撑梁、承载梁、样品载台与微型压头组成，整体结构通过半导体微细加工技术制备。原位纳米压痕实验可采用热双金属片、V型电热梁、压电、静电、电磁、记忆合金等方式进行驱动，样品通过聚焦离子束块体取样技术获得。该一体化平台可置于透射电镜(TEM)样品杆前端的狭小空间内，在双轴倾转条件下，驱动装置驱动微型压头，在透射电镜中对材料进行原位纳米压痕、原位压缩和原位弯曲等实验。可以在亚埃、原子和纳米尺度下对材料的变形过程进行原位观察，研究其变形机制，揭示其显微结构与力学性能的关系。 |
