一种透射电子显微镜用双轴倾转样品台
基本信息
申请号 | CN201510081273.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN104637765B | 公开(公告)日 | 2016-08-24 |
申请公布号 | CN104637765B | 申请公布日 | 2016-08-24 |
分类号 | H01J37/20(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 韩晓东;翟亚迪;毛圣成;王晓冬;张剑飞;李志鹏;孙世铎;张韬楠;蔡吉祥;王丽;吉元;张泽 | 申请(专利权)人 | 百实创(北京)科技有限公司 |
代理机构 | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京工业大学;百实创(北京)科技有限公司 |
地址 | 100124 北京市朝阳区平乐园100号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种透射电子显微镜用双轴倾转样品载台,属于透射电子显微镜配件领域。包括样品杆杆身,驱动轴,连接轴,旋转轴和样品台,样品杆前端留有旋转轴孔,样品台末端有与其一体的运动导槽,样品台通过旋转轴与样品杆杆身前端相连接,通过连接轴在运动导槽位置处与驱动轴相连。通过直线步进电机使驱动轴在水平方向前进或后退,使样品台以旋转轴为中心进行旋转。采用不同形状轨迹的运动导槽可以实现双倾。根据样品载台尺寸的大小,可调节旋转轴距导槽初始水平方向的距离或者改变运动导槽与水平方向的夹角,进而调节可实现的双轴倾转角度。本装置可以与常规的透射电子显微镜配合使用,通用性广。本装置简单,装配方便,成本低,可精确控制倾转角度。 |
