一种线性蒸发源装置
基本信息
| 申请号 | CN201220704968.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202968676U | 公开（公告）日 | 2013-06-05 |
| 申请公布号 | CN202968676U | 申请公布日 | 2013-06-05 |
| 分类号 | C23C14/26(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 于大洋;王葛;丁建 | 申请（专利权）人 | 汉能新能源研发中心有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 102209 北京市昌平区北七家镇宏福创业园15号院 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种蒸发源装置，尤其涉及一种铜铟镓硒薄膜电池生产工艺中的线性蒸发源装置。该线性蒸发源装置包括：材料腔室、喷嘴盖和加热源，所述喷嘴盖位于所述材料腔室的上方并具有多个喷嘴，所述加热源的数量为两个或两个以上，均匀分布在所述材料腔室的下方，且每个所述加热源具有独立的控温系统。该线性蒸发源装置实现了分区控温，从而提高了铜铟镓硒共蒸发工艺中对蒸发量的控制灵活性，同时有效降低了因长时间使用导致的喷嘴堵塞对镀膜均匀性的影响。 |
