热堆式气体质量流量传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910542657.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110146136A | 公开（公告）日 | 2019-08-20 |
| 申请公布号 | CN110146136A | 申请公布日 | 2019-08-20 |
| 分类号 | G01F1/688 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王家畴;王珊珊;李昕欣 | 申请（专利权）人 | 上海迷思科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海迷思科技有限公司 |
| 地址 | 200050 上海市长宁区长宁路865号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种热堆式气体质量流量传感器及其制备方法，包括：衬底；与衬底相连接的带类“非”字状槽的介质膜，且介质膜与衬底共同围成一个隔热腔体；加热元件；至少两个感测元件；单晶硅热偶臂的冷端与衬底之间呈“三明治”状热沉结构。通过引入类“非”字状介质膜以及其下表面的单晶硅热偶臂的结构，即单晶硅热偶臂的热端悬空于隔热腔体上，单晶硅热偶臂的冷端与中间介质层及衬底面面接触的热沉结构，实现了单晶硅‑金属热偶对与衬底的物理隔离，减少了本发明的衬底散热，提高了传感器的灵敏度；热沉结构，增大了单晶硅热偶臂冷端的散热性能，增大了单晶硅‑金属热偶对冷端和热端温度差，从而缩短传感器的响应时间、提高传感器的量程范围。 |
