双层悬浮红外热电堆的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110660953.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113394332A | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN113394332A | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | H01L35/34;H01L35/32;G01J5/12 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 倪藻;李伟 | 申请（专利权）人 | 上海迷思科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 卢炳琼 |
| 地址 | 201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种双层悬浮红外热电堆的制备方法，通过基底中的第一牺牲层，以及在热电偶复合层中形成显露第一牺牲层的刻蚀窗口，从而通过具有较小宽度的刻蚀窗口即可形成具有较大宽度的隔热空腔，可提高热电堆的结构布局的灵活性，提高器件空间利用率；进一步的，通过形成位于红外吸收层下且覆盖刻蚀窗口的第二牺牲层，可在最后一道步骤中同时释放红外吸收层及热电偶复合层，形成包括第一层悬浮结构及第二层悬浮结构的双层悬浮红外热电堆，从而可有效降低工艺复杂度、提高成品率，有利于实现红外热电堆的小型化和高性能。 |
