双层悬浮红外热电堆及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110662171.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113394331A | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN113394331A | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | H01L35/32（2006.01）I;H01L35/34（2006.01）I;G01J5/12（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 倪藻;李伟 | 申请（专利权）人 | 上海迷思科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 卢炳琼 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种双层悬浮红外热电堆及其制备方法，通过在红外吸收层吸收部下引入导热反射层，可提高吸收率，并将热量更快、更多地集中到热结端，有利于增大探测信号，提高探测性能；进一步的，通过设置预设牺牲层，使得具有较小宽度的刻蚀窗口即可形成具有较大宽度的隔热空腔，可提高热电堆的结构布局的灵活性，提高器件空间利用率；进一步的，可在最后一道步骤中同时形成双层悬浮红外热电堆，从而可有效降低工艺复杂度、提高成品率，有利于实现红外热电堆的小型化和高性能。本发明的双层悬浮红外热电堆采用单面加工的加工方法，具有工艺简单、成品率高的优点，适合大批量生产。 |
