双层悬浮红外热电堆的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110662164.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113394333A | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN113394333A | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | H01L35/34（2006.01）I;H01L35/32（2006.01）I;G01J5/12（2006.01）I;G01J5/14（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 倪藻;李伟 | 申请（专利权）人 | 上海迷思科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 卢炳琼 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种双层悬浮红外热电堆的制备方法，通过形成位于红外吸收层下且覆盖刻蚀窗口的硅牺牲层，可在最后一道步骤中同时释放红外吸收层及热电偶复合层，形成包括第一层悬浮结构及第二层悬浮结构的双层悬浮红外热电堆，从而可有效降低工艺复杂度、提高成品率，有利于实现红外热电堆的小型化和高性能。 |
