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一种硅片碱腐蚀工艺及其应用

基本信息

申请号	CN201811393404.6	申请日	-
公开（公告）号	CN111211049A	公开（公告）日	2020-05-29
申请公布号	CN111211049A	申请公布日	2020-05-29
分类号	H01L21/306;H01L31/0236;B81C1/00;H01M8/0258	分类	基本电气元件;
发明人	胡浩洋;朱景兵	申请（专利权）人	上海尚理投资有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	200020 上海市黄浦区皋兰路27号底层东
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种硅片碱腐蚀工艺及其应用，采用可与水发生反应且生成翻新碱的金属氧化物,且翻新碱可与SiO₃^2‑发生反应生成可采用分离方法去除的不溶于水的硅酸盐，用于实现对碱性水溶液的翻新，通过翻新使得碱性水溶液的碱浓度维持不低于其预设最低值的状态或延长其维持不低于碱浓度的预设最低值的时间；且同时通过翻新实现将碱性水溶液的SiO₃^2‑反应转换为不溶于水的硅酸盐，使得SiO₃^2‑的浓度减少；本发明能够明显改善长时间处于强碱性溶液的操作环境、减少废液的产生，进而显著地降低了工艺的物料和环境成本、且明显改善了工艺操作环境；同时可以明显提升本发明硅片碱腐蚀的工艺质量，而且可以有效减少产线的停机时间，提高生产能力和生产效率。