一种清洗硅料设备及其补液装置
基本信息
申请号 | CN201720759085.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN207338311U | 公开(公告)日 | 2018-05-08 |
申请公布号 | CN207338311U | 申请公布日 | 2018-05-08 |
分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 刘文涛;王齐 | 申请(专利权)人 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
地址 | 314117 浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇益群路98号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种清洗硅料设备的补液装置,用于对硅料清洗池内补液,其包括至少两个储液池,并且至少有两个储液池盛放不同的清洗液;配液池能够与储液池和硅料清洗池均连通;检测装置检测硅料清洗池液面高度,并在硅料清洗池液面达到预设液面时,通过处理器控制储液池与配液池的导通,以将储液池中的物料通过配液池输送至硅料清洗池内进行补液。本申请中采用机械部件和控制装置实现对补液,而不需要人工搬运清洗液,从而降低了操作者的劳动强度。 |
