用于阴极环修补的掩膜装置及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN201710365174.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107452900B | 公开（公告）日 | 2020-05-05 |
| 申请公布号 | CN107452900B | 申请公布日 | 2020-05-05 |
| 分类号 | H01L51/56;H01L51/52 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 茆胜 | 申请（专利权）人 | 南京睿显电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市瑞方达知识产权事务所（普通合伙） | 代理人 | 王少虹;许国兴 |
| 地址 | 210000 江苏省南京市经济技术开发区兴智路6号兴智科技园C栋603室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于阴极环修补的掩膜装置及其使用方法，掩膜装置包括掩膜版，所述掩膜版包括显示区遮挡部、镂空部以及加强筋，所述镂空部通过所述加强筋连接在所述显示区遮挡部的外围。本发明的掩膜装置，用于阴极环修补时的遮挡保护，避免阴极环的修补材料进入器件显示区上而影响器件亮度及显示均匀性等光电性能，避免了因采用溅射法制备金属氧化物透明导电保护层时引起的黑点缺陷，从而可使用溅射、蒸镀等各类PVD工艺实现阴极环保护，在最大程度上保证了器件的光输出与工艺兼容性。 |
