首页/ 国科大杭州高等研究院/ 专利详情

一种应用精密六维调节机构的F-P可调谐滤波器、系统、校正及电调谐方法

基本信息

申请号 CN202210420615.4 申请日 -
公开（公告）号 CN114545703A 公开（公告）日 2022-05-27
申请公布号 CN114545703A 申请公布日 2022-05-27
分类号 G02F1/21（2006.01）I;G02B26/00（2006.01）I 分类 光学;
发明人 王义坤;丛蕊;高瑞弘;孟令强;姚志雄;边伟;贾建军;王建宇 申请（专利权）人 国科大杭州高等研究院
代理机构 浙江杭州金通专利事务所有限公司 代理人 -
地址 310024浙江省杭州市西湖区象山支弄1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种应用精密六维调节机构的F‑P可调谐滤波器、系统、校正及电调谐方法，利用自带闭环反馈控制系统的精密六维调节机构作为电调谐执行机构，保证调谐过程中F‑P腔内表面两个高反射率镜面间的严格平行移动，实现基于多波束干涉的光学调谐滤波。另外，借助辅助校正的激光干涉二维测角模块，精密六维调节机构还可以作为初始装调校正过程中的执行机构，实现F‑P腔内表面两镜面间的严格平行。本发明所提供的滤波器具备结构简单、装调校正自动化、通光孔径大、滤波能力高的特点，光学滤波分辨率能够达到纳米量级，在超精细光谱结构分析、激光谐振腔以及光通信领域拥有广泛的应用前景。