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一种可标定的亚纳米级高精度微位移装置

基本信息

申请号 CN202210174484.6 申请日 -
公开（公告）号 CN114252002B 公开（公告）日 2022-06-21
申请公布号 CN114252002B 申请公布日 2022-06-21
分类号 G01B7/02;G01B11/02 分类 测量；测试;
发明人 王义坤;孟令强;梁新栋;丛蕊;边伟;贾建军;王建宇 申请（专利权）人 国科大杭州高等研究院
代理机构 浙江杭州金通专利事务所有限公司 代理人 邓世凤
地址 310024 浙江省杭州市西湖区象山支弄1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种可标定的亚纳米级高精度微位移装置，具有如下有益效果：基于电容测微反馈的压电闭环控制可以有效消除压电致动器自身所固有迟滞与蠕变特性导致的开环非线性控制，实现亚纳米量级分辨能力的高精度微位移控制，但是这个控制能力还是停留在定性分辨的层面，无法作为精密定位领域的定位基准，本发明利用微位移装置所配备的FP腔在高性能光谱仪上能够实现亚纳米量级分辨能力微位移的定量标定，标定结果可以溯源到FP腔透射光谱峰间距，以建立压电致动器上的施加电压与亚纳米量级分辨能力微位移的定量标定关系，从而能够有效解决基于电容测微技术的压电闭环控制亚纳米量级分辨率的定量标定与压纳米级高精度微位移控制问题。