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一种飞秒激光质子直写系统

基本信息

申请号	CN201310084441.X	申请日	-
公开（公告）号	CN104049467A	公开（公告）日	2014-09-17
申请公布号	CN104049467A	申请公布日	2014-09-17
分类号	G03F7/20(2006.01)I	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	李玉晓;王世启;欧阳劲志;陈燕;胡川南	申请（专利权）人	河南工业技术研究院
代理机构	北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	郑自群
地址	450047 河南省郑州市博学路1000号
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种飞秒激光质子直写系统，用以解决现有的直写系统，存在刻写分辨率低，功率控制不稳定，噪声大，轮廓深度有误差及对抗蚀剂的厚度要求有限制的问题，包括：主控制器；质子束生成系统，用于根据主控制器的控制，产生兆电子伏特Mev能量级的质子束；刻写装置，用于利用兆电子伏特Mev能量级的质子束，在抗蚀材料工件表面进行刻写出三维浮雕结构；随动平台，用于置放抗蚀材料工件，并运动实现横向和纵向的刻写；随动平台控制系统，用于根据主控制器的控制，控制随动平台的运动，与主控制器和随动平台连接。上述飞秒激光质子直写系统，利用高能质子束刻写出高深宽比，侧壁垂直光滑、线条边缘粗糙度低和高密度、高精度的三维浮雕结构。