一种具有调节和定位功能的半导体芯片拾取装置

基本信息

申请号 CN201910373904.1 申请日 -
公开(公告)号 CN110137127B 公开(公告)日 2021-06-11
申请公布号 CN110137127B 申请公布日 2021-06-11
分类号 H01L21/683;H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 杨业;薄士霞;余坤 申请(专利权)人 广州贤智科技有限公司
代理机构 深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 代理人 赵爱婷
地址 313000 浙江省湖州市长兴县泗安镇泗安西湖科创园内C栋二层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种具有调节和定位功能的半导体芯片拾取装置,包括移动板、处理器、导气室、吸管、吸盘和感应机构,导气室内设有吸附机构,吸管内设有定位机构,导气机构包括风机、调节杆、调节组件、通气板和若干调节块,定位机构包括气缸、第一电机、转轴和两个定位组件,定位组件包括收缩单元、转动杆、侧杆和距离传感器,该安具有调节和定位功能的半导体芯片拾取装置通过定位机构可确定芯片与吸盘的相对位置,便于移动板调整位置后,吸盘位于芯片的正上方,方便将芯片吸起,不仅如此,利用感应机构检测弹簧的压缩程度,使得吸附机构改变调节块与通孔的相对位置,调节吸盘的吸附力,避免芯片长期受过度挤压而损坏,提高了该设备的实用性。