一种生化测试片的制备工艺

基本信息

申请号 CN201610505160.0 申请日 -
公开(公告)号 CN106124596A 公开(公告)日 2016-11-16
申请公布号 CN106124596A 申请公布日 2016-11-16
分类号 G01N27/416(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 陈泓均 申请(专利权)人 英太格电子科技(苏州)有限公司
代理机构 北京同恒源知识产权代理有限公司 代理人 刘宪池
地址 215000 江苏省苏州市苏州工业园区星汉街5号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种生化测试片的制备工艺,全程利用黄光蚀刻制程制备出生化测试片的金属电极导线层、金属氧化物反应层和中隔层;本发明所述生化测试片的制备工艺,可以在低成本的情况下达成高精度的要求,并且具有阻止测试液扩散的中隔层,可以更精准的控制反应液体量,导线材料使用低价的金属电极,来降低黄金电极的成本,反应区材料使用稳定的金属氧化物电极,可以提升电极的长期稳定性,不会随时间拉长而产生变异,造成量测不准。