空隙检测方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202011066110.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112180460A | 公开（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申请公布号 | CN112180460A | 申请公布日 | 2021-01-05 |
| 分类号 | G01V8/20(2006.01)I;G01J1/02(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 秦衡;李碧洲;纪秀范;尹雪露 | 申请（专利权）人 | 艾普柯微电子（江苏）有限公司 |
| 代理机构 | 北京博思佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 武娜 |
| 地址 | 214135江苏省无锡市新吴区菱湖大道200-5号楼5层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种空隙检测方法及装置。本申请中，空隙检测方法，应用于空隙检测装置，空隙检测装置包括N个感光芯片，N个感光芯片沿第一方向排列，N为大于1的整数，所述方法，包括：获取N个感光芯片采集的N个第一光强值；比较N个第一光强值，获取N个第一光强值中最大的M个第一光强值；M为正整数；确定采集最大的M个第一光强值的M个感光芯片的第一位置信息；根据M个感光芯片的第一位置信息获取空隙的第二位置信息。本申请的实施例，可以提高空隙检测的精度，同时，可以降低空隙检测的成本。 |
